1차 사용
웨이퍼 세정에 초순수를 씁니다. 불순물을 이온 단위까지 제거한 물이라 만드는 데 에너지가 많이 듭니다.
Environment
환경
웨이퍼 한 장에 순수 8.2톤과 전기 152kWh 가 듭니다. 이 값을 줄이는 것이 과제입니다.
- 온실가스
- 294만 톤
- 재생에너지
- 48%
- 용수 재이용
- 72%
- 처리 효율
- 97.4%
Emissions
온실가스는 두 갈래에서 나온다
반도체 공장의 온실가스는 두 곳에서 나옵니다. 하나는 전기를 쓰면서 간접적으로 발생하는 것이고, 다른 하나는 식각과 세정에 쓰는 공정가스가 그대로 대기로 나가는 것입니다.
전기는 재생에너지로 바꾸면 됩니다. 2020년 12%였던 재생에너지 비율을 2025년 48%까지 올렸고, 2030년 70%가 목표입니다. 국내 사업장은 재생에너지 공급인증서 구매와 전력구매계약을 병행하고 있습니다.
공정가스가 더 어렵습니다. 육불화황은 온실효과가 이산화탄소의 23,500배입니다. 대체 가스를 쓰거나 배출 전에 분해해야 하는데, 분해 설비의 처리 효율이 곧 감축률입니다. 현재 처리 효율은 평균 97.4% 입니다.
Data
환경 실적
| 항목 | 2020년 | 2023년 | 2025년 | 2030년 목표 |
|---|---|---|---|---|
| 온실가스 배출량 (만 톤CO2eq) | 412 | 368 | 294 | 186 |
| 재생에너지 전환율 (%) | 12 | 31 | 48 | 70 |
| 공정가스 처리 효율 (%) | 89.1 | 94.6 | 97.4 | 99.0 |
| 총 용수 취수량 (만 톤) | 3,840 | 4,120 | 3,960 | 3,600 |
| 용수 재이용률 (%) | 41 | 58 | 72 | 85 |
| 폐기물 발생량 (만 톤) | 18.4 | 21.2 | 22.6 | 21.0 |
| 폐기물 재활용률 (%) | 88 | 93 | 96 | 98 |
| 대기오염물질 배출 (톤) | 284 | 216 | 164 | 120 |
생산량이 2020년 대비 1.6배 늘어난 상태의 절대값입니다. 원단위로 환산하면 온실가스는 55%, 용수는 36% 줄었습니다.
Water
물을 세 번 쓰는 방법
회수와 재생
사용한 물을 오염도별로 나눠 받습니다. 오염이 적은 물은 역삼투와 이온교환을 거쳐 초순수로 되돌립니다.
2차 용도 전환
초순수로 되돌리기 어려운 물은 냉각탑 보충수와 스크러버 용수로 씁니다. 여기까지 쓰면 재이용률이 72%가 됩니다.
Chemicals
화학물질은 들여오기 전에 심사한다
새 화학물질을 라인에 들이려면 환경안전 심의를 통과해야 합니다. 심의 항목은 독성, 폭발 위험, 배출 후 처리 가능성, 그리고 대체 가능성입니다.
대체 가능성 항목이 핵심입니다. 성능이 조금 떨어지더라도 위험이 낮은 물질이 있으면 그쪽을 먼저 검토하도록 규정에 넣었습니다. 2025년 심의 건수는 164건이었고 이 중 22건이 대체 물질로 바뀌었습니다.
이미 쓰고 있는 물질도 3년마다 재검토합니다. 규제가 강화되거나 더 안전한 대체재가 나오면 전환 계획을 세웁니다.
- 신규 화학물질 도입 전 환경안전 심의 의무
- 심의 항목 : 독성 · 폭발 위험 · 처리 가능성 · 대체 가능성
- 2025년 심의 164건 중 22건 대체 물질 전환
- 사용 중 물질 3년 주기 재검토
Now
2025년 실적
- 온실가스 배출
- 294만 톤
- 재생에너지
- 48%
- 용수 재이용
- 72%
- 폐기물 재활용
- 96%
2020년 412만 톤 대비 28.6% 감축
2030년 70% 목표
취수량은 생산 증가에도 3.1% 감소
매립 비율 1.2%
